调试,则由刘柏超带领工人们完成。
这台机械,大致由机架、绕线轴筒、z轴工作台、y轴工作台、摆动装置、夹具等组成。
它被命名为dh045a,045指的是机器使用的金刚石切割线。
金刚石切割线也属于东华的专利产品,钢丝直径只有0.045毫米,一台机器里储存的金刚石切割线长达50公里。
机器的数控和机电部分则由翟华完成。
它的性能非常先进,可以对900毫米长度的硅棒进行切割,根据设定,能够切割6英寸、8英寸、12英寸的半导体级硅棒。
在此基础上,还将进一步研制dh045b型硅片切割机,b型机将用来切割太阳能级单晶硅棒。
用这台机器切割出来的硅片,厚度在0.35毫米左右,线损不超过0.3毫米,硅片表面损伤小,后续打磨更容易。
机器使用的零部件,除了部分测量和传感设备外,全部由东华完成零部件的设计与开发,国产化率超过90%。
张保东参与开发的则是硅片研磨。
研磨设备就是一台大型卧式圆台磨床,可以放多张硅晶片。
抛光设备,则是化学机械抛光机,化学机械抛光,简称cmp。
cmp的机械结构并不复杂,大致由循环泵、抛光液池、过滤磁环、抛光机、工件台、抛光垫、抛光盘、回收箱等十几个部件组成。
体现它的性能的是设备的稳定性,高精度和平整度,以确保加工出来的硅片呈现为完美的镜面。
这几种机械能够成功研制出来,得益于安美森与阿斯麦成功收购了svg公司。
svg作为光刻设备制造商,它的机械制造水平绝对处于蓝星顶流的那一批,对加工硅晶片也有相当雄厚的技术储备。
在收购svg时,阿斯麦提出,鉴于属地管理原则,建议由安美森公司负责svg的生产环节的管理,并开拓山姆国内的光刻机市场,阿斯麦侧重于组织svg的研发机构和人员,进行相关设备的攻关。
为啥把生产交给安美森?
因为根据收购协议,svg的全部员工在一年内不得被辞退,即使生产中断也要保证他们的基本工资,这部分开支每年大概1.2亿刀,连带其它日常开支每年的负担超过1.5亿刀。
把生产推给安美森,就意味着安美森负责员工开支。
对此,安德烈与陈立东协商后,没有与阿斯麦讨价还价,不过安美森提出意见是,svg的科研机构必须留在三藩市,科研人员大部分时间也会在本土,阿斯麦负责安排研发项目,督导研发进度。
这个也符合svg大部分工程师的意愿,阿斯麦也没有推辞。
阿斯麦获得了svg多年来沉淀的技术资料,拥有了上千项技术专利,以及进入山姆国参与euv联盟的入场券,并成功的将负担甩给了安美森,这也算是一种胜利。
svg的日常运营管理,还是由原来的团队负责。
但有句老话叫“吃谁向着谁”,安美森负担了日常开支,便拥有了对svg更多的话语权。
svg的技术信息和专利同样被安美森得到,陈立东毫不犹豫地就把技术资料拿了过来。
今后svg是否保留,将要看svg员工的贡献和心态,按照陈立东的分析,svg早晚要关,至于它的遗产落到谁的手里,就要看安美森和阿斯麦的手段了。
遗产是啥?
其实主要是那些工程师们,虽然明面上安美森负责他们的开支,但背后阿斯麦肯定会对一些人员极尽拉拢,勾心斗角的事情多着呢......
话说,刘柏超和张保东参与的硅片加工设备的研制,依托于svg